精密工学会学術講演会講演論文集
2022年度精密工学会春季大会
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フェムト秒パルスレーザを光源とするパルス列干渉計の干渉縞包絡線ピークの高分解能検出
*藤山 大雅明田川 正人韋 冬
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p. 252-253

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抄録

フェムト秒パルスレーザを光源としたパルス列干渉計を使用して長さ計測を行う.長さ情報を得るために,パルス列の干渉により発生させた干渉縞から包絡線を復調し,そのピーク位置を求める必要がある.歪みのある離散フーリエ変換(warped discrete Fourier transform以下,WDFT)を使用することで,包絡線ピーク位置における高分解能化を実現できる.本研究では任意の干渉縞に対して常にWDFTで達成できる最密位置分解能でピーク位置を表示する方法を提案する.

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© 2022 公益社団法人 精密工学会
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