絶対距離測定を用いた高精度内径形状計測に関する研究

回折格子を用いた基準点位置安定化制御手法の提案

抄録

本研究では，構造内部の形状を計測するための手法に関する研究に取り組んでいる.光を用いた内部計測では反射素子を挿入しそれの回転などにより内部を走査する.反射素子表面が基準位置となり得るが，幾何学的な運動誤差により基準位置に偏差が生じ，これが直接計測精度に影響を及ぼす.その幾何学的な誤差を校正するため，回折格子を用いた基準位置の安定化手法を提案する.