2022年度精密工学会春季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会春季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17
広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究（第5報）
Gerchberg – Saton法による位相復元における表面構造による散乱光遮断の影響
p. 259-260
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会春季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17
p. 259-260
数 nmから数十 μmの3次元微細加工において，表面トポグラフィ計測手法が求められている．広範囲かつ高精度な測定の実現のために，光周波数コムを光源としたレーザ逆散乱法による表面トポグラフィ計測系の開発を行っている．計測対象表における表面構造による散乱光の遮断がGerchberg-Saxton法による位相復元に影響を及ぼす．本報告では，位相復元における散乱光遮断の影響と補正方法ついて述べる．
