光周波数コムを用いた高精度アライメントモニター（第8報） 試作光学モジュールの評価

久米 達哉; 三部 勉; 道畑 正岐; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2022S.0_255

2022年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022S.0_255

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17

光周波数コムを用いた高精度アライメントモニター（第8報）

試作光学モジュールの評価

*久米達哉, 三部勉, 道畑正岐, 高橋哲

著者情報

キーワード: 光周波数コム, 絶対測長干渉計, ボールレンズ

会議録・要旨集フリー

p. 255-256

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抄録

我々は，高磁場，真空の過酷環境下におけるμmレベルの変動を，数ヵ月以上の長期間にわたり監視するため，光周波数コムに基づく絶対測長干渉計の複数の測長路を，光ファイバを用いて測定対象中に導入し，それらを3次元的に張り巡らせた干渉測長網からなるアライメントモニターを開発している．ここでは，測長網を構成するボールレンズモジュールを試作し，評価した．

責任著者(Corresponding author)

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