WGM共振を利用した微小球の直径計測（第16報） 屈折率自律補正法の提案

田中 理香子; 劉 羽莘; 門屋 祥太郎; 道畑 正岐; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2022S.0_266

2022年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022S.0_266

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17

WGM共振を利用した微小球の直径計測（第16報）

屈折率自律補正法の提案

*田中理香子, 劉羽莘, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲

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キーワード: WGM共振, 屈折率, 微小球

会議録・要旨集フリー

p. 266-267

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抄録

ナノスケール物体の測定技術としてマイクロCMMがあるが, この高精度化には先端のプローブ球の直径の精密測定が必要不可欠である. 直径を計測する手法としてWGM共振を用いるものがあり, 屈折率の誤差は直径計測に大きな影響を及ぼす.本研究では，微小球の直径計測の高精度化のために, 球内の屈折率の自律的な補正法を提案し, その理論的検証および実験的検証を行った.

責任著者(Corresponding author)

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