⾃律的⽋陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第11報）

空間光位相変調による液相プローブ高感度検出

抄録

基板上微細加⼯技術の進歩に伴い，製造プロセス中で応⽤可能な基板上ナノ異物検出法が求められている．そこで我々は，⾼感度性や⾼速計測性といった特性を備えた揮発性液体を検出プローブとして⽤いる原理に基づいたナノ異物光学検出法を提案している．本報では，動的空間光位相変調を⽤いて微細粒子の光学応答を⾼感度に検出する方法を検証した．