反射像観察による球体表面外観検査の感度検証

抄録

球体部品に関して表面の凹凸欠陥の高速、高感度な検査手法が求められている。そこで我々は、試料表面の凹凸による反射光の収束・発散により生じる反射像の明暗から欠陥を検出する検査手法を開発している。本報では回転する鋼球表面に照射した円環状レーザ光の反射光をスクリーンに投影する光学系を構築し、反射像から深さ2umの傷を判別した。本発表では検査視野と欠陥検出感度について報告する。