熱流体解析によるEBポリッシングメカニズムの解明

抄録

大面積電子ビーム照射法を用いたEBポリッシングでは，均一なエネルギー密度の電子ビームにより金属材料の極表面を瞬時に溶融し，高能率な表面平滑化が可能であるが，平滑化メカニズムについては明らかにされていない．本研究では，切削加工により微細凹凸形状を付与したチタン合金に対してEBポリッシングを行い，ビーム照射時における溶融金属の流動，再凝固を再現した熱流体解析により表面平滑化メカニズムの解明を試みた．