表面プラズモン共鳴を用いた新概念リソグラフィに関する研究 複雑多光束干渉SPPパターンの生成検討実験

畚野 剛瑠; 増井 周造; 門屋 祥太郎; 道畑 正岐; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2022S.0_51

2022年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022S.0_51

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17

表面プラズモン共鳴を用いた新概念リソグラフィに関する研究

複雑多光束干渉SPPパターンの生成検討実験

*畚野剛瑠, 増井周造, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲

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キーワード: 表面プラズモン共鳴, 干渉リソグラフィ, マイクロ光造形, サブ波長構造

会議録・要旨集フリー

p. 51-52

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抄録

近年微細構造の加工や応用に関する研究が益々盛んになっているが，微細かつ高コントラストな加工を実現する手法として表面プラズモン共鳴を利用した加工手法が注目を集めている．本研究は，そのような表面プラズモン共鳴を用いた加工における現象の解明とその制御性向上を目的としている．本報では，表面プラズモン共鳴を用いた新たな加工コンセプトを提案するとともに，提案手法の要素技術を実験的に検討した．

責任著者(Corresponding author)

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