高強度発光ダイオードと125µm角光ファイバアレイを用いた投影露光リソグラフィの基礎検討（第2報）

抄録

青色発光ダイオードと光ファイバを利用して簡便安価に2次元コードマーク等の矩形パターンを転写する露光方法の検討を行っている。前報で直径125µmの光ファイバの先端を正方形に成型し、一列光ファイバアレイを製作した。今回は、成型した複数の光ファイバアレイを重ねて光ファイバマトリクスを製作した。自作の1/10縮小投影露光装置に設置した結果、約12µmの正方形マトリクスパターンを転写できた。