液中レーザ照射によるナノ周期構造の創成と金属析出に対するパルス幅の影響

抄録

微細構造を創成し，同時に表面組成を制御するため，硫酸銅溶液中で短パルスレーザを工作物表面に照射し，ナノ周期構造の創成と銅粒子の析出を確認している．本研究では，ナノ周期構造の創成および金属析出に対して熱が大きく影響することが知られているため，パルス幅と繰り返し周波数の影響を調査した．その結果，ナノ周期構造と表面組成が照射条件に依存し，短パルスで低繰り返し周波数の時に銅が多く析出されることを確認した．