浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第5報） 長ストローク微動特性

田丸 雄摩; 牛島 智大; 清水 浩貴

doi:10.11522/pscjspe.2022S.0_680

2022年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022S.0_680

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17

浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第5報）

長ストローク微動特性

*田丸雄摩, 牛島智大, 清水浩貴

著者情報

キーワード: スクイーズ効果, 位置決め, 非接触支持, ピエゾ素子

会議録・要旨集フリー

p. 680-681

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抄録

摺動摩擦を排除したスクイーズ効果支持微動テーブルを提案している．今回，支持部底面角度が異なる3種類のテーブルに対して浮上変位が最大になるように加振面と被加振面の平行度調整をした上で長ストローク微動試験を行った．加振振幅を階段状に変化させてステップ応答を観察した．また微動変位を膜厚変化から幾何学的に推定することを試み，実際の微動変位と比較評価をした．

責任著者(Corresponding author)

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