マイクロ波水素プラズマ化学輸送法によるダイヤモンド合成

プロセス圧力が結晶性に与える影響

抄録

我々は、廉価な固体炭素原料から工業用高品質ダイヤモンドを、水素プラズマ化学輸送法により合成することを目指している。これまでの研究から、放電ギャップと基板温度が、合成されるダイヤモンドの結晶性に大きな影響を与えることを報告してきた。今回、さらなる高品質化を目指して、プロセス圧力が膜構造に与える影響を調査した。結果として、適切な圧力を見いだすことで、形成されるダイヤモンドの結晶性の向上に成功した。