光学面のイオンビーム加工におけるビームの収束技術の開発

磁気レンズによるビームの収束特性評価

抄録

光学部品の精密創成には小径イオンビーム加工が有効である．本研究では，簡便な装置で小径イオンビームを得るために，永久磁石を内蔵した磁気レンズによるビーム収束技術を検討した．ネオジウム磁石による磁気レンズを試作し，イオン銃に接続してビーム特性を調べた．ビーム軌道に沿って3個のファラデーカップを配置し，ビームの2次元強度分布の変化を計測した結果，軌道上の所定位置にてビームが収束することを明らかにした．