磁気ミラーによるプラズマ収束と吸引プラズマ局所加工法への応用

抄録

微細加工用のプラズマ技術は半導体故障解析などに役立てられており、より高精度で微細な加工のためにプラズマをより細く絞ることが求められている。本研究では、磁気ミラーによるプラズマの微細化を目指し、プラズマを収束させる磁場レンズについて検討を行った。試作した磁場レンズを通過した吸引型プラズマが収束することを確認し、磁気ミラーによるプラズマ収束の有効性を明らかにした。