誘導電荷形静電アクチュエータにおける負荷状態の推定

抄録

近年，誘導電荷形静電アクチュエータの広告応用が進んでいるが，フィードバック制御ができていないという課題がある．これに対し固定子の内部構造を利用して移動子を検出する方法が提案されているが，移動子の有無を検出するのみに留まっている．そこで本研究では，この方法において移動子への負荷を変化させることで移動子検出信号がどのように変化するかを調べた．その結果，この2つに負の相関関係があることがわかった．