反射分光干渉縞データによる厚さ推定深層学習モデル

抄録

薄膜などで見られる干渉模様の色は膜厚に依存している。干渉色の特性から厚さを求めることもでき、工業的な厚さ計測装置の原理としても用いられている。本研究では、反射分光で得られる多チャンネル干渉データから厚さを推定するシステムを深層学習の方法で開発を進めている。測定レンジ、測定精度、外乱に対する堅固さの観点から、データセットの準備、開発モデルの学習特性、性能評価の結果について報告する。