形状誤差をランダム化したマイクロレンズアレイの加工方法

抄録

MLA（マイクロレンズアレイ）は光通信や産業用照明などに用いられる光学素子であり、特に照明用途において配光分布の高精度な均一性が要求される。ダイヤモンド切削でMLAの成形用金型を加工する際、従来法では加工面積の増加と共に工具磨耗による形状誤差で、配光分布が悪化する問題があった。本研究では、単レンズ毎に工具軸と光軸のなす角をランダムに位置決めし、形状誤差による配光性能の悪化を抑制する方法について検討した。