プラズマCVMにおけるキャリアガス流量が加工に及ぼす影響

能登 樹; 魏 新洋; 孫 栄硯; 大久保 雄司; 山村 和也

doi:10.11522/pscjspe.2023A.0_223

2023年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023A.0_223

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2023年度精密工学会秋季大会

開催地: 福岡工業大学

開催日: 2023/09/13 - 2023/09/15

プラズマCVMにおけるキャリアガス流量が加工に及ぼす影響

*能登樹, 魏新洋, 孫栄硯, 大久保雄司, 山村和也

著者情報

キーワード: プラズマ加工, 表面粗さ, PCVM, 大気圧プラズマ

会議録・要旨集フリー

p. 223

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抄録

大気圧マイクロ波プラズマジェットを用いた数値制御プラズマCVM（NC-PCVM）法は，化学反応に基づく非接触超精密加工法として期待されている．しかしながら，実際のNC-PCVM加工過程において，反応生成物が被加工物表面に再堆積すると均一なエッチングを妨げるマスクとなり表面粗さが悪化する．本報では、キャリアガスの流量と反応生成物の再堆積との相関関係を調査し，その結果が加工後の表面粗さに与える影響を評価した．

責任著者(Corresponding author)

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