定在波ピッチを利用したサブマイクロファイバの直径計測

抄録

数100nmから1μmの光ファイバの直径を計測するため、定在波ピッチを利用した直径計測法を提案している。光ファイバの両側から光を入射し定在波を発生させ、その表面で定在波の近接場光が染み出す。光ファイバの近傍で走査型近接場光学顕微鏡（SNOM）プローブを軸方向に沿って走査することで定在波近接場光のピッチを測定した。光ファイバの固有方程式を利用し、ピッチから直径を求めることができた。