レーザアシスト法を用いたガラス表面への微細構造転写

抄録

表面に微細構造を持つ材料の産業利用が拡大しているが，中でもガラスは光学特性，熱特性に優れるため各分野への応用が期待されている．ガラス表面へ微細構造を形成する工法としてモールド法があるが，サイクルタイムが長い．本研究では，熱収支に優れるレーザアシスト法を用いて，ガラス表面への高効率な微細構造の転写を試みた．スポット照射にてレーザ出力強度および照射時間を変更し得られた転写結果からメカニズムを考察した．