ガラス板のレーザ加熱による微細なレンズ生成とその形状計測

抄録

ガラス板の局所加熱で生じる膨張を利用したマイクロレンズ生成を試みている。厚さ1mmのソーダ石灰ガラスの板の表面に波長1070nmのレーザを集光すると、照射時間に応じてレンズ形状が変化する。変化の過程を非接触リアルタイムで認識するために計測用のレーザを加工中に照射し、反射光の強度分布に注目した。本報告では反射光のパターンと膨張したガラスの寸法をシミュレーションにより解析する方法を提案する。