主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2023年度精密工学会秋季大会
開催地: 福岡工業大学
開催日: 2023/09/13 - 2023/09/15
千葉工大 工学研究科 機械電子創成工学専攻
千葉工大 工学部 機械電子創成工学科
広島工大 工学部 機械システム工学科
p. 498-499
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電子機器の小型化に向けたプリント基板の回路パターンの微細化に向け，銅張積層板にレーザで直接描画する試みである．レーザを集光走査することで微細回路の製作を目指している．本報では回路を発展させ，パターニングにより微細な受動素子（コンデンサ）を創成する．波長532nm，パルス持続時間400psのパルスレーザにより銅箔を除去し，絶縁領域を生成する際の加工特性と加工できる回路素子の性能を調査した．
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