過酷環境下にて動作する高安定アライメントモニターの開発（第3報） ボールレンズ光学系のシミュレーション

久米 達哉; 三部 勉; 道畑 正岐; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2023A.0_515

2023年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023A.0_515

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2023年度精密工学会秋季大会

開催地: 福岡工業大学

開催日: 2023/09/13 - 2023/09/15

過酷環境下にて動作する高安定アライメントモニターの開発（第3報）

ボールレンズ光学系のシミュレーション

*久米達哉, 三部勉, 道畑正岐, 高橋哲

著者情報

キーワード: ボールレンズ, シミュレーション, 光線追跡, 絶対測長干渉計

会議録・要旨集認証あり

p. 515-516

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抄録

我々は，高磁場，真空の過酷環境下において数カ月以上の間安定して動作するアライメントモニターを開発している．ここでは，アライメントモニターを構成するボールレンズ光学系の最適化のため，シングルモード光ファイバによるコリメートビームの近似モデルとガウス光学モデルを組み合わせた，ボールレンズ光学系のシミュレーションモデルを作成して，得られた見積もり値と実測値を比較することで，その妥当性を評価した．

責任著者(Corresponding author)

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