半導体レーザと外部共振器機構を用いた高精度長さ計測（第五報） 二重共振器による共振器長計測手法提案

合田 周平; 門屋 祥太郎; 道畑 正岐; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2023A.0_519

2023年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023A.0_519

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2023年度精密工学会秋季大会

開催地: 福岡工業大学

開催日: 2023/09/13 - 2023/09/15

半導体レーザと外部共振器機構を用いた高精度長さ計測（第五報）

二重共振器による共振器長計測手法提案

*合田周平, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲

著者情報

キーワード: 外部共振器, 半導体レーザ, 長さ計測, 二重共振器, 絶対距離計測

会議録・要旨集認証あり

p. 519

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抄録

近年，半導体集積回路などにおいて高精度な絶対距離計測の要求が高まっている．本研究では，共振現象を用いた外部共振器機構の共振器長計測に基づく高精度絶対距離計測手法を提案している．本報では，外部共振器機構内にビームスプリッタを置くことで共振器を二重に構成したときの応答を検証し，それぞれの共振器長差の絶対距離計測を可能にする手法を提案し，実験検証する．

責任著者(Corresponding author)

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