正弦波位相変調干渉計における新しい二次元面内変位復調法の提案

抄録

正弦波位相変調干渉計は位相補間により波長以下の分解能を実現できる。先行研究では高速度カメラを用いて変調周波数の12倍サンプリングで干渉信号の画像を取得して簡単な四則演算による復調法で二次元面内変位測定を実現していた。今回は16倍サンプリングで干渉信号の画像を取得し、変形位相同期ループにより面内変位を復調する方法を提案する。さらに波面センサと任意変形ミラーを構成に加え波面収差を比較する。