精密工学会学術講演会講演論文集
2023年度精密工学会秋季大会
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ラマン分光法を用いた光学結晶のクラック周辺における分子構造変化の計測
*山下 総司上野原 努水谷 康弘高谷 裕浩
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会議録・要旨集 認証あり

p. 522-523

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抄録

光学結晶の研削によって生じる微細なクラックの進展を予測するために,クラック周辺の応力状態の計測が求められる.本研究では,クラックにレーザを照射した際に発生する後方散乱光のラマン分光によって,光学結晶の分子構造の変化を計測し,クラック周辺の応力状態を計測する手法を提案する.本報告では,単結晶サファイア表面のクラックにおいてラマン計測を行い,分子構造の変化に対するラマンスペクトルの変化を調べた.

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© 2023 公益社団法人 精密工学会
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