主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2023年度精密工学会秋季大会
開催地: 福岡工業大学
開催日: 2023/09/13 - 2023/09/15
宇都宮大 地域創生科学研究科 工農総合科学専攻 機械知能工学プログラム
宇都宮大 工学部 基盤工学科 機械システム工学コース
p. 526-527
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本研究では,微細な接触部の検出方法として,固体表面に被覆したスパッタ薄膜が接触によって相手表面に移着することを利用することを提案している.微細な粗さのセラミックス球と滑らかなガラス平面の押し付け実験を行った後,ガラス表面の微細な接触部を光学顕微鏡やSPMを用いて測定を行った.その結果,サブミクロン以下の大きさの真実接触部について詳細に検出することができた.
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