マイクロCMMを用いた球直径測定に関する研究

T型先鋭スタイラスの開発

抄録

産業技術総合研究所は、マイクロCMMを用いた球の2点直径校正法の開発に取り組んでいる。球の直径測定の不確かさ低減のため、本論文では、試料表面とプローブ間の相互作用力の低減に向けた取り組みについて報告する。これまで使用してきた先端半径約500μmのプローブに対して、プローブをT型構造とすることで、先端半径約8μmのプローブを開発した。スタイラス先端半径の先鋭化に伴うμ-CMMのプロービング性能と相互作用力の関係について調査結果を報告する。