タンタル酸リチウム基材上に作製した弾性表面波デバイスの特性に関する研究　第2報

電極の材質・形状の違いによるデバイス特性の変化

抄録

弾性表面波（SAW）デバイスは基材の表面近傍を伝搬する機械振動を利用した圧電マイクロデバイスである。我々はSAWを利用した化学センサの構築へ向け、挿入損失の小さいデバイスの開発を試みている。本研究では、36度回転Y板X伝搬タンタル酸リチウム単結晶基材上にSAWデバイスを作製し、電極の材質および形状の違いによる挿入損失などのデバイス特性の比較・評価を行った。