超高速スピンドル左右ボールネジ駆動工作機械のステップマイクロドリル加工

抄録

ステップ動作は切りくず詰まりを抑制する一方，微小区間での高速往復運動が必要になるため穴品質の悪化が見られる．そこで本研究では左右同軸ボールねじを利用したカウンタバランス機構を有する穴あけ工作機械を提案しカウンタウェイトによりスピンドル部の慣性力を相殺することで工作機械の実稼働中の振動の抑制を目指している．実際に加工した基板の穴位置精度，形状精度を測定し，また加工に使用したドリルの観察をおこなった．