液体誘電泳動を利用した薄型脚振りアクチュエータ

抄録

本研究では，Dielectrophoretic Liquid zippingに着目して，液体誘電泳動を利用した薄型脚振りアクチュエータを検討した．本稿では，単極性電圧と両極性電圧を印加した場合の性能の違いを報告する．2種の電圧を印加した場合の変位応答を評価した結果，単極性電圧では変位が減衰するのに対して，両極性電圧では安定な定常動作が得られることを確認した．そして，6脚の薄型移動機構を検討し，最大速度0.0558mm/sの移動性能を確認した．