主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2023年度精密工学会春季大会
開催地: 東京理科大学
開催日: 2023/03/14 - 2023/03/16
東京大 工学部 精密工学科
東京大 工学系研究科 精密工学専攻
東京工大 科学技術創生研究院 未来産業技術研究所
DiNOV
東京大 先端科学技術研究センター
p. 366-367
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微細構造を持つ基板表面の近接場を用いた構造化照明顕微法は,回折限界によらない分解能で高速に非破壊観察を行えるため,超解像検査等への応用が期待できる.その実現には高空間周波数の構造化照明が必要となるため,本研究では,ナノ粒子の自己組織化膜を照明生成構造に利用することを検討する.検証として,粒子膜により得られる照明分布の解析と,ディップコーティングによるポリスチレンナノ粒子膜の作製を行った.
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