精密工学会学術講演会講演論文集
2023年度精密工学会春季大会
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ナノスケールにおける加工現象可視化に関する研究
第8報:透明傾斜面を用いたナノ粒子絶対高さ位置の検証
*後藤 大輝Khajornrungruang PanartBlattler AranPermpatdechakul Thitipat太田 有紀
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p. 374-375

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抄録

液中ナノ粒子の表面付近での三次元挙動を把握するため、多波長表面局在光により三次元追跡と可視化を行う観察法を提案している。本稿では、屈折率が水に近い樹脂を透明傾斜面として形成し、面上に粒子を付着させ、各位置での高さを多波長エバネッセント光学系と干渉光学系で測定した。高さ約60 nmから130 nmの間で付着したナノ粒子を測定対象とし、その高さは干渉法による測定値から約±10 nmの差で一致し、標準偏差2σは約5 nmであった。

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© 2023 公益社団法人 精密工学会
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