半導体レーザと外部共振器機構を用いた高精度長さ計測 第四報

リットマン型外部共振器機構による絶対距離計測

抄録

産業界では現在，半導体集積回路などで高精度な絶対距離計測技術の要求が高まっている．本研究では，共振現象を用いた外部共振器機構の共振器長計測に基づく高精度絶対距離計測手法を提案し，開発・実験検証を目指す．本報では，二重周期回折格子を用いた距離計測精度の向上手法を提案し，また，共振器長に変位を与えその測定値を干渉計計測と比較することで実験的に提案手法の距離計測精度を検証する．