正弦波位相変調干渉計を用いたインプロセス計測手法の開発

抄録

加工精度向上には加工中の誤差を取り除く必要がある．特に旋削加工では取付時のずれ，加工中の工作物の逃げが主な誤差の発生原因である．加工中に形状計測が可能なインプロセス計測により誤差への対応が可能である．本研究では，非接触かつ高分解能の正弦波位相変調干渉計と位相計による計測手法を用いたインプロセス計測手法を提案し，旋削加工における丸棒の輪郭誤差計測について報告する．