Field Programmable Gate Arrayを用いた高速正弦波位相変調干渉計の開発

抄録

本研究室では、参照光路に正弦波仮想変位を与える正弦波位相変調干渉計を検討している。先行研究では，干渉信号への簡単な四則演算のみで90度位相の異なる位相成分を得る手法を提案した．この手法ではロックインアンプを必要とせず，Field Programmable Gate Array（FPGA）への実装が容易なため，計測の高速化，高分解能化が期待される．本研究では，提案法を高速FPGAに実装した干渉計を開発し，変位追従速度，測定分解能を評価する．