蛍光の飽和現象を利用した工具刃先摩耗形状の機上計測に関する研究

抄録

精密加工において生産効率と加工精度の向上のために工具刃先形状の機上計測が求められる．工具刃先形状計測の高精度化および高分解能化のために，工具に付着した切削液から発生する蛍光を用いる手法を提案する．高強度の励起レーザを切削液に照射すると蛍光が飽和する．本研究では，飽和した蛍光を検出することによって，切削液が付着した状態でも工具摩耗を高精度かつ高分解能に計測可能であることを示した．