共焦点光学系による自家蛍光検出を用いた幾何形状計測（第2報）

3次元構造寸法計測の精度検証

抄録

精密部品の複雑化・高アスペクト化に対応できる幾何形状計測手法が求められている．中でも，急峻な鏡面をもつ精密部品は応答信号を得にくく，従来の光学的手法では計測が難しい．それに対し本研究では，大きい角度に広がる自家蛍光を共焦点光学系で検出する新たな手法を提案している．本報では，基礎実験を通して，急峻な面から検出された蛍光信号を示すとともに，蛍光信号を用いた幾何形状計測の精度についても議論する．