近接場光散乱レンズの開発：散乱レンズの三次元分解能の評価

抄録

レンズの集光は計測、加工、操作といったあらゆる場面で利用されており、現在のナノテクノロジーを支える技術の一つである。一方で光の集光は回折限界により空間分解能が制限されており、微細化・高速パターニングが期待されている。そこで我々はデジタル位相共役を近接場光学に拡張した回折限界を超えた散乱レンズを提案する。散乱レンズの三次元分解能の評価結果について報告する。