表面局在光場内のシュリーレン可視化による表面極近傍の流れ場観測

第一報：表面上に形成される気体流れ場の可視化法の提案

抄録

Wet工程などでは基板表面上に流れ場が形成される。しかし、ナノスケール領域の流れ場が観察されている例を見られず、ナノスケール現象に及ぼす影響は明らかになっていない。そこで本稿では、流れ場の可視化手法であるシュリーレン法と、基板表面上(約200nm)に限定して発生する表面局在光を組み合わせた光学系を用いて、基板表面上に形成される流れ場の可視化法を提案する。