主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2023年度精密工学会春季大会
開催地: 東京理科大学
開催日: 2023/03/14 - 2023/03/16
九工大 情報工学部 知的システム学科
九工大 大学院情報工学府 情報創成工学専攻
九工大 大学院情報工学府 機械情報工学分野
九工大 大学院情報工学研究院 知的システム工学研究系 先進機械分野
p. 400-401
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Wet工程などでは基板表面上に流れ場が形成される。しかし、ナノスケール領域の流れ場が観察されている例を見られず、ナノスケール現象に及ぼす影響は明らかになっていない。そこで本稿では、流れ場の可視化手法であるシュリーレン法と、基板表面上(約200nm)に限定して発生する表面局在光を組み合わせた光学系を用いて、基板表面上に形成される流れ場の可視化法を提案する。
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