精密工学会学術講演会講演論文集
2023年度精密工学会春季大会
会議情報

表面局在光場内のシュリーレン可視化による表面極近傍の流れ場観測
第一報:表面上に形成される気体流れ場の可視化法の提案
*太田 有紀Permpatdechakul Thitipat後藤 大輝Khajornrungruang Panart
著者情報
会議録・要旨集 フリー

p. 400-401

詳細
抄録

Wet工程などでは基板表面上に流れ場が形成される。しかし、ナノスケール領域の流れ場が観察されている例を見られず、ナノスケール現象に及ぼす影響は明らかになっていない。そこで本稿では、流れ場の可視化手法であるシュリーレン法と、基板表面上(約200nm)に限定して発生する表面局在光を組み合わせた光学系を用いて、基板表面上に形成される流れ場の可視化法を提案する。

著者関連情報
© 2023 公益社団法人 精密工学会
前の記事 次の記事
feedback
Top