パルスエネルギの多段階変化による単結晶炭化ケイ素の精密フェムト秒レーザ加工

抄録

優れた電気的・機械的特性を持つ炭化ケイ素には半導体・MEMSデバイスで多くの応用先がある．炭化ケイ素に微細加工を行う手段として近年フェムト秒レーザ加工が注目されているが，アブレーション時に発生する衝撃波が加工形状周囲にクラックを発生させるため，精密加工が困難であることが知られている．本研究では，パルスエネルギを多段階に変化させることで衝撃波およびクラック発生を大幅に抑制した精密加工法を提案する．