ウォータガイドレーザによる超高アスペクト比微細深穴加工に関する研究（第2報）

レーザパルス由来のジェット乱れの発見と高品質加工への応用

抄録

ウォータガイドレーザ加工法は高アスペクト比加工を実施できるが，レーザとウォータジェットの相互作用を含む加工原理の詳細は未解明である．ガイドウォータの観察により，レーザパルス由来で周期的なジェット乱れによる漏れ出しが生じることを新しく発見し，その周期形成メカニズムを明らかにした．漏れ出し位置が限界加工深さ位置となることを確認し，漏れ出し位置制御に基づいた限界加工深さ拡張加工法を提案し，実証した．