浮上機構の浮上量推定のための印加電圧と共振周波数

抄録

圧電素子の鉛直振動を用いる浮上機構では、変位計を用いない浮上量推定の実現を目指している。浮上機構では浮上のために圧電素子を共振周波数の近傍で駆動する。圧電素子への印加電圧を大きくすることで振動振幅、振動速度は大きくなり、浮上機構の浮上量も大きくなる。一方で印加電圧の変化によって共振周波数も変化する。本稿では印加電圧と共振周波数の関係を明らかにする目的で、印加電圧ごとの浮上機構の周波数特性を求めた。印加電圧の増加によって共振周波数が低くなることを明らかにした。