逐次精密切削観察システムを利用した鋼の微小硬さ分布測定（第5報）

加工機上での加工変質層評価の検討

抄録

我々は，これまでに精密切削を利用した逐次断面切削観察システムの開発を行ってきた．前報ではデータの測定精度向上を目指し，圧電ステージの駆動方法を変更させ，鋼材の微小硬さの測定が可能なことを示した．一方，切削面での押し込み試験では，切削により材料表面に生じる加工変質層が試験の結果に影響を及ぼすことが考えられる．本報では加工変質層を加工機上で簡易的に評価する方法を検討し，その有効性を評価した．