主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2023年度精密工学会春季大会
開催地: 東京理科大学
開催日: 2023/03/14 - 2023/03/16
p. 685-686
X線ミラーを対物素子に用いた結像型X線顕微鏡では,高分解能かつ色収差のない観察が可能であるが,位相物体の観察に課題がある.これまでに複数のデフォーカス像を用いた位相イメージング法を開発してきたが,CT観察への応用にはより少ない撮像枚数が望ましい.本研究では,焦点およびデフォーカス位置にて撮影した2枚の画像から位相コントラストを得る手法を開発した.SPring-8にて行った実証実験の結果,位相物体の明瞭なコントラストが得られた.