X線顕微鏡のためのin-situ波面計測法の開発

点とエッジを用いた方法の検討

抄録

ミラーベースX線顕微鏡の更なる高分解能化のためには，ミラーの高精度化が求められるが，加工技術の限界が近づいている．これを解決するために，形状可変ミラーとin-situ波面計測法を組み合わせたアダプティブ顕微鏡の開発を進めている．フレネルゾーンプレートの集光点を用いた波面計測法と，その応用であるテストチャートのエッジの回折光を用いた波面計測法を提案し，その実証実験を行った．