軟X線結像型分光顕微鏡の構築に向けたウォルターミラーとマルチ開⼝グレーティングの開発

抄録

X 線分光顕微鏡は、試料内部を高分解能に化学分析できることから、材料科学を中心に幅広い分野で用いられている。本研究で我々は、ウォルターミラーとマルチ開口グレーティングを用いた軟X 線結像型分光顕微鏡を開発し、高い時間分解能で分光スペクトルとサンプル像の取得を目指している。発表では、SPring-8 BL07LSU に設置予定のウォルター光学系の設計、マルチ開口回折格子の開発、可視光を用いた原理実証実験の結果を報告する。