マグネトロンスパッタリングを用いたhBNナノシートの合成及び構造評価

抄録

マグネトロンスパッタリング法とアニーリングを重畳し成膜を行うことで六方晶窒化ホウ素薄膜の合成に成功した．Cu基板上に900℃を超える温度で成膜を行った．このサンプルについて電子顕微鏡で断面観察を行ったところ，基板表面に対して平行な平面構造が配列されていることが確認できた．また，ラマン分光分析では六方晶窒化ホウ素の面内振動に起因するピークも見られ，六方晶窒化ホウ素の合成が確認できた．