主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2023年度精密工学会春季大会
開催地: 東京理科大学
開催日: 2023/03/14 - 2023/03/16
p. 708-709
ロボットの正確な力学モデルなしに,容易に高精度制御を実現することを最終目標として,減速機を含む1軸機構を対象に研究に取り組んでいる.著者らは,精密ステージを対象にフィードフォワード要素付きNCTF(Nominal Characteristic Trajectory Following)制御系の有効性を明らかにしているが,減速機は性質の異なる複数の振動要因を含み,その対策が必要となる.本報ではその振動特性を考慮した適用方法を提示し,その有効性を実験により評価した結果を報告する.